美國雷科(LACO)微通道型標準漏孔介紹

美國雷科(LACO)微通道型標準漏孔介紹

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上海睿米儀器儀表有限公司是專注氣體泄漏定量分析在行業應用與推廣的廠家，我們與漏孔全世界行業領軍者-美國雷科公司（LACO Technology）合作，得益于LACO業界先進的微毛細通道技術，提供業界齊全，性能先進的氣體標準漏產品：

覆蓋各個漏率：E-1~E-10mbar.L/s

業界先進：

l  可指定精確漏率（如1.30x10-9mbar.L/s，根據客戶需求可精確到百分位)

l  或同時指定壓力和漏率（如20Mpa下 1.00x10-5mbar.L/s）

l  各種氣體|各種漏率|各種接口|有源（帶氣室）|無源（開放式）|工業集成|儀器校準|漏率模擬|流量控制

l  所有標準漏產品出廠均提供全球高等級之美國計量局可跟蹤證書NIST Traceable A2LA Certificate）

業界先進的微毛細通道技術

標準漏孔是檢驗氦質譜檢漏儀、氦檢系統準確與否的唯一標準。睿米是標準漏孔業界先進-美國雷科公司（LACO Technologies）在中國的代表處，每一個標準漏孔都提供美國NIST國際證書，并符合ISO/IEC17025標準,可以作為第三方校準的標準源。

LACO標準漏孔采用獨特的微通道MTC（Micro-Tube Capillary）技術，是漏孔制作工藝的重大突破，對比傳統的石英滲透膜或特富龍滲透膜技術，以及傳統的玻璃拉絲，金屬壓扁等通道型技術都是質的飛躍，克服了傳統通道型和滲透膜制作工藝的缺陷，同時綜合了二者的優點。

LACO微通道漏孔具有以下優點：

ü  全量程支持，支持E-1到E-10mbar.L/sec；玻璃拉絲或金屬壓扁等通道型工藝一般只能穩定支持>E-6大漏率，而滲透膜一般只支持<E-7漏率

ü  真空響應快，這是通道型漏孔優點而玻璃或特富龍滲透膜工藝缺乏的.

ü  √溫度補償系數僅為0.1%/℃，可忽略溫度補償；傳統的玻璃滲透膜工藝溫度補償高達3~4%/℃，溫度變化10℃，漏率偏差高達40以上。

ü  穩定性非常好，這是金屬壓扁或玻璃拉絲工藝通道型漏孔所缺乏的（作為標準漏孔，穩定性不好是非常致命的，或者說不應該的）。

ü  抗震、抗摔。玻璃或特富龍滲透膜，以及玻璃拉絲工藝致命缺陷，很容易破碎導致不可用和使用壽命短。

ü  防堵塞性能良好，克服傳統通道工藝容易堵塞的致命弱點，提高了穩定性和使用壽命

ü  大壓力支持，MTC工藝支持>40Mpa壓力漏孔制作，優于其他工藝數倍到數十倍。意味著更小的衰減，更穩定的漏率，數倍的使用壽命；

ü  支持同時指定壓力、指定漏率制作漏孔，如35Mpa下漏率為1x10-5mbar.L/sec，模擬實際的測試工件。

微通道MTC（Micro-Tube Capillary）技術，請參見：http://www.evencpc.com/product/400.html

支持氣體種類

*用戶可指定混合比例：如He:空氣=50:50，H2:N2=5:95*

*如您需要的氣體未在上述列出，請與我們聯系*

多種接口支持

*如您需要的接頭未在上述列出，請與我們聯系定制*

有源標準漏孔（帶氣室）和無源（開放式open style）標準漏孔

按照是否自帶氣源，標準漏孔可以分為有源標準漏孔（自帶氣室）和無源漏孔（需要連接外部氣源）。

有源標準漏孔（帶氣室）

睿米有源標準漏孔氣室根據漏率要求，可以選用不同規格氣室如115cc，150cc，300cc，1000cc等，也可以定制其他規格的氣室。

圖：有源標準漏孔（自帶氣瓶Gas Reservior),也稱標準氣瓶等

無源標準漏孔（外接氣源）

圖：無源標準漏孔,也稱開放式標準漏孔(open style)等

標準漏孔應用場景：

標準漏孔的用途主要是儀器校準，包括氦氣檢漏儀，氫氣檢漏儀，氫氣檢漏儀，SF6檢漏儀，冷媒檢漏儀，空氣檢漏儀，殘余氣體分析儀等。另一個重要的用途是生產線上面的檢漏系統校準等。

氦質譜檢漏儀內部標準漏孔（Internal Leak）

支持但不限于的氦質譜檢漏品牌包括：Pfeiffer/Adixen（普發）, Oerlikon-Leybold（萊寶）, Agilent/Varian（安捷倫/瓦里安）, Shimadzu（島津）, INFICON（英孚康）, ULVAC（愛發科）, KYKY（中科科儀）, Veeco/VIC, LACO（雷科）

一般以10-7mbar.l/s量程為主，可以根據客戶定制提供不同漏率漏孔。內置漏孔采用鋼制非破碎型微毛細管技術，具有使用壽命長、防摔防震等特點，低成本漏孔。提供美國計量局NIST證書。

檢漏儀是一把測量尺，而標準漏孔是標準尺。測量是否準確，需要標準漏孔這把標準尺來度量。而NIST標準相當于全球高等級的具有權威性的尺子，如果檢漏儀能符合要求NIST漏孔的要求，則意味著這臺檢漏儀的準確性是全球高等級的。

                    INFICON  LDS3000              LACO T100                     ASM142/310/340內置漏孔

外部標準漏孔校準（External Leak）

檢漏儀的外部校準是非常重要的?？紤]到各個廠家對自己利益的保護，目前對標準漏孔存在比較大的兩個誤區：

第一個誤區：多個檢漏儀廠家特別是國外廠家說只能用自己的漏孔，包括外置與內置，這是一個典型性的謬誤說法。因為氦質譜檢漏儀準不準，應符合標準漏孔。而標準漏孔準不準，是國家標準規定的檢測機構如NIST就是美國標準局認定，而不是廠家。

第二個誤區就是檢漏儀內置漏孔檢測通過，檢漏儀就沒有問題。這也是一個認識的誤區（我們在視頻中看到一臺阿爾卡特檢漏儀自檢通過但誤差10倍的情況）。實際上每一臺檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。

氦質譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數量進行量化，而到達質譜室離子源的氦氣分子數量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比,。在環境參數變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據內置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區間如[E-6, E-8]是可能準確的，可能到E-9就很不準確。

建議用2個標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行標定。事實上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10^-8mbar.L/s, Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10^-8 mbar.L/s，經過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產品是否合格。

建議用戶在選購外置標準漏孔，盡量接近產品合格要求漏率，睿米可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。

 殘余氣體分析儀校準

檢漏系統校準

這是標準漏孔應用的一個重要方向，隨著對產品質量要求越來越高，很多產品都必須進行檢漏測試。而待測工件的測試基于一個整體的泄漏檢測系統，如將一個汽車管路部件充氦放入一個大檢測腔體，再連接到檢漏儀；在這種情況下，待測工件泄漏只有其中一部分進入檢漏儀，因此必須用標準漏孔來對比檢測工件是否合格。

檢漏儀吸槍校準：包括氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀等 

吸槍法（嗅探法）校準是非常重要的。在氦質譜檢漏儀吸槍法校準中，用空氣做校準是不行的，即使空氣中氦氣含量為5ppm（5x10^-6）左右，顯示漏率還取決于吸槍泵速。如吸槍泵速為1cm³/s，空氣壓力為1000mbar，我們轉化為氦氣漏率為mbarL/s=（10-3L*1000x5x10^-6）=5E-6mbar.L/s。如果吸槍泵速變為2cm³/s時，漏率應該為2*5E-6mbar.L/s= 1E-5mbar.L/s.

因此必須用外置標準漏孔對吸槍進行校準。

LACO（雷科）吸槍標準漏孔氦質譜檢漏儀支持所有的氦質譜檢漏儀，支持但不限于的氦質譜檢漏品牌包括：Pfeiffer/Adixen（普發）, Oerlikon-Leybold（萊寶）, Agilent/Varian（安捷倫/瓦里安）, Shimadzu（島津）, INFICON（英孚康）, ULVAC（愛發科）, KYKY（中科科儀）, Veeco/VIC, LACO（雷科）。

冷媒鹵素標準漏孔一般在E-4或E-5mbarL/s.對高精度鹵素檢漏儀如Q200，用戶可以定制地漏率漏孔，如10^-7mbarL/s SF6或氟利昂漏孔。

雙氣室標準漏孔用于冷媒/鹵素檢漏儀吸槍校準，如SF6，氟利昂等。其中主氣室以液態存儲，通過增、減壓閥調節壓力。用戶可指定多個漏率點。 

氣密性（空氣）檢漏儀校準

流量控制